青岛福盟微电子半导体行业真空炉-高性能F

从结构上分为卧式、立式、箱式，从真空度上分为低真空、高真空，从使用温度上分为低温、高温，从真空室材料上分为石英管、耐热 不锈钢管，从真空获得上分机械泵、机械泵＋扩散泵、机械泵＋分子泵。 设备用途：广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。 主要技术指标： ★工位： 单、双、三工位 ★工作温度： 300～1100℃（不锈钢真空室{zg}1000℃） ★真空度： 优于5×10-3 Pa ★真空室直径：Φ150～300 mm ★恒温区长度：400～1000 mm ★控制精度： ±1.0～3.0℃ ★炉体移动速度：0～400 mm/min ★{zd0}充气压力：0.5 MPa （不锈钢真空室） ★加热功率： 10～80 KVA ★控制系统： 进口仪表＋PLC＋触摸屏 ★安全连锁保护：超温、断偶、缺水、压力异常保护报警