椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如，掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响，因此需要能测量红外波段的椭偏仪；薄膜的厚度测量需要光能穿透这薄膜，到达基底，然后并被探测器检测到，因此需要选用该待测材料透明或部分透明的光谱段；对于厚的薄膜选取长波长更有利于测量。
美国Woollam公司的主要产品有M一44/M一88和VASE两类。
M一44/M一88属于多波长回转检偏器(R八E)型椭偏仪，但是在起偏器前没有单色仪，而是偏振的光从样品表面反射，通过回转检偏器，经过色散到达硅光二极管列阵上，它是44或88个波长同时进行测量。这种仪器最初用于在线检测，希望具有快速的数据采集，但是也可以作为若干固定入射角的线外测量(实验室)用的光谱椭偏测量仪器使用。
之所以命名为椭圆偏振，是因为一般大部分的极化多是椭圆的。此技术已发展近百年，现在已有许多标准化的应用。然而，椭圆偏振技术对于在其他学科如生物学和医学领域引起研究人员的兴趣，并带来新的挑战。例如以此测量不稳定的液体表面和显微成像。1 基本原理 2 实验细节 2.1 实验装置 2.2 数据搜集 2.3 数据分析 3 定义 3.1 单波长 与 光谱 椭圆偏振技术 3.2 标准 与 广义 椭圆偏振理论 (非等向性) 3.3 琼斯矩阵 与 穆勒矩阵 型式 （去偏极化） 4 进阶实验方法 4.1 椭圆偏振成像 4.2 原位椭圆偏振 4.3 椭圆偏振孔隙测定 4.4 磁光广义椭圆偏振 5 优势