美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最z好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细1菌等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。其洁净度级别从10万级—30万级,按用途可以分为工业洁净室、生物洁净室、微生物安全实验室;气流组织可分为单向流和非单向流;其中单向流又可分为垂直流和水平流。
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(1)无尘室天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、钢梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)无尘室空调系统:包括恒温恒湿机组、粗中高西效过滤系统、送回风系统、水管路系统、自动控制系统、配电系统等。
(3)无尘室隔间(Partitional wall);包括净化彩钢板、窗户(黄光玻璃)、门、传递箱、风淋室、货淋室等。
(4)无尘室地板:包括高架地板或防静电地板、EPOXY地面等。
(5)无尘室照明器具:包括洁净室日光灯、黄光灯管等。

