如果达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
洁净手术部 clean operating department
由洁净手术室、洁净辅助用房和非洁净辅助用房组成的自成体系的功能区域。
交竣状态洁净室(空态) as built clean room
已建成并准备运行的、具有净化空调的全部设施及功能，但室内没有设备和人员的洁净室。
待工状态洁净室(静态)atrest clean room
室内净化空调设施及功能齐备，如有工艺设备，工艺设备已安装并可运行，但无工作人员时的洁净室。
洁净室的地板系统除了需要给在这个区域工作的人们提供稳定的立足点外，还要提供更多东西，例如把洁净的空气送入房间，支撑加工艺设备，为必要的设备维修提供方便的通道，并且还要具备坚固的表面保证设备可以在上面进行改造。洁净室的地板也提供了电力系统的接地，起到传导和静电耗散的作用，消除ESD积累。
由于所有这些原因，洁净室的地板成为整个洁净室中最重要的组成部分。然而，很多设备经理或工具安装人员，在使用洁净室时都会碰到地板带来的麻烦。举个例子，人们要进入地板下面的空间时，就会认识到——由于公差过于精密——需要很大的力量才能打开地板块；然后，在把地板块放回原处的时候，通常地板块无法完全复原，不得不用脚用力在上面跺。而且，在使用工具翻开地板块的时候，经常会损坏它们。
