众所周知，环境污染主要是工业污染造成的。其中，大气污染和水体污染一方面对人们的健康造成影响，另外一方面也会影响生产过程和产品质量。综上所述，为了减少室内污染对生产过程的影响，就必须通过洁净技术来改善或解决室内污染问题。可以肯定，在普通的生产车间想要控制整个微环境的悬浮粒子浓度，使其达到工艺要求的洁净程度是完全不可能的。只有建造无尘车间，采用密闭的结构，合理的气流组织及合理的压差，才能使其微环境内达到所要求的空气洁净度，满足生产要求。
从过去到现在
传统方式安装一个洁净室地板系统，是在一种叫做“开孔华夫板（open waffle slab）”的上面铺设。这种华夫板是混凝土矩阵结构，带有开孔，便于维修和空气流通。洁净室地板系统就组装在这个矩阵结构之上，支架设在华夫板的开孔之间，支撑洁净室地板系统。支架通常是2×2英尺，装配2×2英尺的地板或通路地板块。洁净室对气流的要求已经发生改变。因为制造空间采用了微环境，净化的空气过滤器数量减少了。由于产品是放在前开式标准片盒（FOUP）里或一个晶圆传送系统里，把材料传送到每个微环境中去，在那里进行加工处理。
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。生物洁净室洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可最z大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控（ISO 14644-6）洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
