众所周知,环境污染主要是工业污染造成的。其中,大气污染和水体污染一方面对人们的健康造成影响,另外一方面也会影响生产过程和产品质量。综上所述,为了减少室内污染对生产过程的影响,就必须通过洁净技术来改善或解决室内污染问题。可以肯定,在普通的生产车间想要控制整个微环境的悬浮粒子浓度,使其达到工艺要求的洁净程度是完全不可能的。只有建造无尘车间,采用密闭的结构,合理的气流组织及合理的压差,才能使其微环境内达到所要求的空气洁净度,满足生产要求。
从过去到现在
传统方式安装一个洁净室地板系统,是在一种叫做“开孔华夫板(open waffle slab)”的上面铺设。这种华夫板是混凝土矩阵结构,带有开孔,便于维修和空气流通。洁净室地板系统就组装在这个矩阵结构之上,支架设在华夫板的开孔之间,支撑洁净室地板系统。支架通常是2×2英尺,装配2×2英尺的地板或通路地板块。洁净室对气流的要求已经发生改变。因为制造空间采用了微环境,净化的空气过滤器数量减少了。由于产品是放在前开式标准片盒(FOUP)里或一个晶圆传送系统里,把材料传送到每个微环境中去,在那里进行加工处理。
洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。生物洁净室洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间,其建造和使用方式可最z大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控(ISO 14644-6)洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。